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硅材料清洗用超純水處理設(shè)備有哪些優(yōu)勢(shì)

作者:北京中天恒遠(yuǎn) 發(fā)布于:2020-08-11 14:58瀏覽量:

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詳細(xì)介紹硅材料清洗用超純水處理設(shè)備(圖)

  第一,硅材料清洗用超純水處理設(shè)備介紹

  所謂的硅材料,一般包括單晶硅、多晶硅、太陽能硅片電池以及半導(dǎo)體用的硅材料,這些產(chǎn)品中含有微量的污染就會(huì)導(dǎo)致器件失效。清洗的雜質(zhì)主要包括包括有機(jī)物和無機(jī)物。無論是那種雜質(zhì)都會(huì)導(dǎo)致各種缺陷,因此,對(duì)于硅材料的清洗和必須使用超純水。硅材料清洗用超純水處理設(shè)備—LTLD是一套專門用于硅材料清洗的水處理設(shè)備,該設(shè)備采用先進(jìn)的反滲透技術(shù)和EDI技術(shù),EDI模塊的使用取代了傳統(tǒng)超純水設(shè)備混床的使用,制水效果更加明顯。

  第二,超純水中雜質(zhì)的污染源介紹

  1、水源的影響

  由于水是一種溶解能力很強(qiáng)的溶劑,因此天然水中含有各種鹽類和化合物,溶有CO2,還有膠體(包括硅膠和腐殖質(zhì)膠體),天然水中還存在大量的非溶解性質(zhì),包括粘土、砂石、細(xì)菌、微生物、藻類、浮游生物、熱源等。

  2、材料的影響

  制備超純水的材料設(shè)備的材質(zhì)都是用金屬和塑料制成的,金屬在水中會(huì)有痕量溶解,造成金屬離子污染。一些高分子材料,在合成時(shí)常常加入各種添加劑、增塑劑、紫外吸光劑、著色劑,也引入大量的金屬、非金屬雜質(zhì),同時(shí)還會(huì)帶來有機(jī)污染。

  第三,硅材料清洗用超純水處理設(shè)備介紹

  指采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級(jí)處理等方法,將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除,又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機(jī)物均去除至很低程度的水處理設(shè)備,用于制取超純水的機(jī)器,超純水初是美國(guó)科技界為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)出來的水,這種水中除了水分子(H20)外,幾乎沒有什么雜質(zhì),更沒有細(xì)菌、病毒、含氯二惡英等有機(jī)物,當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素,超純水無硬度,口感較甜,又常稱為去離子水,可直接飲用,也可煮沸飲用。超純水,是一般工藝很難達(dá)到的程度,如水的電阻率大于18MΩ*cm,接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。超純水設(shè)備行業(yè)水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)超純水水質(zhì)分為五個(gè)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。

  第四,硅材料清洗用超純水處理設(shè)備介紹  

超純水設(shè)備流程圖

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